來源：學術之家整理 2025-03-18 15:42:22
《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》中文名稱：《真空科學與技術雜志B:納米技術與微電子學》，由AVS Science and Technology Society出版商出版。
1983年，《真空科學技術雜志》A和B兩種期刊在原《真空科學與技術雜志》拆分后創刊。JVSTA致力于發表關于材料、薄膜和等離子體界面和表面的原創研究報告、信件和評論文章。JVSTA發布的報告在基礎層面推進了對界面和表面的基本理解，并利用這種理解來推進各種技術應用的最新進展。
旨在及時、準確、全面地報道國內外ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC工作者在該領域的科學研究等工作中取得的經驗、科研成果、技術革新、學術動態等。
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